반도체 Precursor 적용 사례
◈ ALD/CVD Precursor
- DRAM, Nand flash memory, Logic 반도체 소자의 미세 박막을 증착하는 전공정용 화학 물질
- 잔존막 : high-k, SiO2/SiN, electrode, barrier metal, interconnection metal, contact metal 등
- 희생막 : ULTO, SiON, ACL 등
◈ ALD/CVD Precursor
- DRAM, Nand flash memory, Logic 반도체 소자의 미세 박막을 증착하는 전공정용 화학 물질
- 잔존막 : high-k, SiO2/SiN, electrode, barrier metal, interconnection metal, contact metal 등
- 희생막 : ULTO, SiON, ACL 등