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Element Product name Application
Al TMA Capacitor/gate high-k
DMEAA , MPA , DMAH Interconnection metal
C 1-hexene Hard mask ACL
Co CCTBA , CpCo(CO)2 Contact metal
Hf TEMAHf , CpHf , Hf(OtBu)4 Capacitor/gate high-k
Ni NiEtCp2 Contact metal
Ru RuEtCp2 Capacitor electrode, barrier metal
Si DIPAS , BDEAS DPT ULTO, gap fill Sio2, gate SIO2/SiN
Tri-DMAS Gate SIO2/SiN, gap fill SiO2
BTBAS Gate SIO2/SiN
HCDS DPT ULTO
3TMS , 4TMS Hard mask SiON
Ta TBTDETa , TBTEMTa , CpTa Gate high-k barrier metal
Ti Cp*Ti(OMe)3 Capacitor high-k
TiCl4 Capacitor electrode, barrier metal
TDMAT Capacitor electrode, barrier metal
W TBDMW Contact metal
Zr TEMAZr , CpZr Capacitor/gate high-k

※ 제품명을 클릭하면 상세 제품정보를 볼 수 있습니다.


TEL. 0507-1305-6750 FAX. 0504-225-6758
(18374)경기도 화성시 반정로 204번길 73 (반정동 137번지) ㈜아이켐스

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