제품정보 - 용도 구분

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제품정보 - 용도 구분

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Application Product name
Capacitor high-k TEMAZr , CpZr , TEMAHf , CpHf , TMA , Cp*Ti(OMe)3
Metal gate high-k TEMAZr , CpZr , TEMAHf , CpHf , Hf(OtBu)4 , TBTDETa
DPT ULTO DIPAS , BDEAS , HCDS
Gap fill SiO2 Tri-DMAS , DIPAS , BDEAS
Gate SiO2/SiN Tri-DMAS , BTBAS , DIPAS , BDEAS
Capacitor electrode TiCl4 , TDMAT , RuEtCp2
Barrier metal TiCl4 , TDMAT , TBTDETa , TBTEMTa , CpTa , RuEtCp2
Interconnection metal DMEAA , MPA , DMAH
Contact metal CCTBA , CpCo(CO)2 , TBDMW , NiEtCp2
DPT Hard mask SiON 3TMS , 4TMS
DPT Hard mask ACL 1-hexene

※ 제품명을 클릭하면 상세 제품정보를 볼 수 있습니다.


TEL. 0507-1305-6750 FAX. 0504-225-6758
(18374)경기도 화성시 반정로 204번길 73 (반정동 137번지) ㈜아이켐스

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